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切割機(jī)以強(qiáng)磨削為切割機(jī)制，空氣靜壓電主軸為執(zhí)行元件，以每分鐘30000至60000的速度劃定切割晶片的切割區(qū)域。承載晶片的工作臺(tái)沿著葉片與晶片接觸點(diǎn)之間的切割線(xiàn)以一定的速度直線(xiàn)移動(dòng)，以分割每個(gè)帶有獨(dú)立電氣的芯片。在這個(gè)過(guò)程中，水源被冷卻和保護(hù)。

晶圓切割四要素，聯(lián)動(dòng)工作，缺一不可。原理很簡(jiǎn)單，精細(xì)的工作卻不那么容易做。

一、主軸

砂輪劃片機(jī)主軸采用空氣靜壓支撐的電主軸。目前使用的主軸有兩種，即直流主軸和交流主軸。

1、直流主軸

①為了提高冷卻效果，采用軸向強(qiáng)制通風(fēng)冷卻或熱管冷卻。

②恒轉(zhuǎn)矩范圍低于基本速度，恒功率范圍高于基本速度。

③晶體管脈寬調(diào)制調(diào)速系統(tǒng)主要用于調(diào)速。通常會(huì)配備檢測(cè)元件進(jìn)行反饋。

2、水源

主軸冷卻水和切割冷卻水是劃片機(jī)使用的兩種水源。

3、主軸冷卻水

顧名思義，主軸冷卻水的主要功能是冷卻和保護(hù)主軸，并在主軸內(nèi)循環(huán)。必須使用去離子水，否則會(huì)堵塞主軸內(nèi)部。冷卻水溫度應(yīng)恒定為室溫，并可配備恒溫水箱。否則，刀痕在切割過(guò)程中容易發(fā)生偏移?？諝庵鬏S是一個(gè)關(guān)鍵部件，需要定期檢查主軸水一般為6個(gè)月），以防止水垢堵塞管道，損壞主軸電機(jī)。

4、切割冷卻水

切割冷卻水，主要采用去離子水，可根據(jù)產(chǎn)品需要添加二氧化碳?xì)怏w等特殊附件，以改變水質(zhì)電阻值。

5、軟刀

軟刀需要用法蘭固定。其優(yōu)點(diǎn)是刀具暴露量大，可加工較厚的產(chǎn)品，可通過(guò)更換法蘭連續(xù)使用，性?xún)r(jià)比高。但是，采用這種固定方法后，刀具需要研磨才能達(dá)到真正的圓形效果，刀具與法蘭的接觸部分會(huì)有輕微的跳動(dòng)，切割效果不好。

6、硬刀

硬刀通過(guò)高溫高壓將刀體固定在特殊法蘭上，出廠時(shí)可確認(rèn)為真圓。由于刀體與法蘭的融合，可以加工優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，但生產(chǎn)方式?jīng)Q定了刀片的暴露量不能太大。通常，這種刀片的暴露量為0、30～1、15mm較小或較大的暴露量需要特殊定制。硬刀不能加工較厚的產(chǎn)品，這方面有局限性。

刀具選擇的基本原則：即材料越硬，刀體材料越軟，材料越軟，刀體材料越硬。

比如硬脆材料的選擇越硬，切割時(shí)就會(huì)出現(xiàn)背塌、背裂現(xiàn)象。

根據(jù)坍塌邊緣的要求和材料的性質(zhì)，選擇合適的刀體粘度、材料軟硬度、集中度、金剛砂顆粒尺寸等。

砂輪切割機(jī)可以切割的材料很多，不同性能的材料切割工藝不同，每個(gè)參數(shù)都可以與切割的質(zhì)量和效率有關(guān)。因此，在切割前分析所有因素，選擇準(zhǔn)確的葉片是一個(gè)很重要的步驟。