公司簡(jiǎn)介
歡迎訪問(wèn)深圳西斯特科技有限公司
服務(wù)電話：400-6362-118
在晶圓劃切過(guò)程中，不僅需要選擇合適的劃片刀，而且要關(guān)注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件，對(duì)于獲得好的切割效果起著至關(guān)重要的作用。
上期我們已經(jīng)分析劃片刀選型的幾個(gè)關(guān)鍵因素，本期關(guān)注加工條件的影響。
加工條件主要涉及以下幾個(gè)方面：
主軸轉(zhuǎn)速 進(jìn)給速度 冷卻水 主軸轉(zhuǎn)速 刀片固定在劃片機(jī)主軸上，以非常高的速度旋轉(zhuǎn)，通常在每分鐘25000至60000轉(zhuǎn)之間，這就是我們通常所說(shuō)的主軸轉(zhuǎn)速。主軸轉(zhuǎn)速是影響切割效果的關(guān)鍵因素之一。 在相同轉(zhuǎn)速下，刀片外徑不同，外圓線速度也不同。不同外徑的刀片為了獲得相同的外圓線速度，必須調(diào)整主軸轉(zhuǎn)速，以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。 當(dāng)主軸轉(zhuǎn)速增加時(shí)，金剛石的加工負(fù)荷減少，從而提高刀片壽命，同時(shí)降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。但是，金剛石加工負(fù)荷減少會(huì)阻礙刀片自銳，導(dǎo)致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加。 降低主軸轉(zhuǎn)速，加速刀片自銳，是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。 相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高，被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小，背面崩邊尺寸則越大，刀片蛇形切割的發(fā)生概率也越高。 為了使被切產(chǎn)品保持良好的切割質(zhì)量，并達(dá)到預(yù)期的使用壽命，有必要根據(jù)被切產(chǎn)品的材料情況、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量要求對(duì)主軸轉(zhuǎn)速進(jìn)行合理選擇。 進(jìn)給速度 在切割過(guò)程中，我們移動(dòng)臺(tái)盤(pán)來(lái)實(shí)現(xiàn)切割速度的變化（1-300mm/s）。大家都知道工廠生產(chǎn)中，效率意味著成本。切割速度越高，效率越高。但是往往切割速度越高，刀片負(fù)載越高，切割品質(zhì)會(huì)越差。因此優(yōu)化切割速度實(shí)現(xiàn)高效率高品質(zhì)的生產(chǎn)至關(guān)重要。 高進(jìn)給速度下，每顆金剛石的負(fù)載也會(huì)增加，對(duì)崩邊產(chǎn)生較大影響，同時(shí)，進(jìn)給速度會(huì)影響刀片壽命。 進(jìn)給速度越慢，背崩尺寸越小，刀片壽命越長(zhǎng)。相反，進(jìn)給速度越快，背崩尺寸越大，刀片磨損加大，刀片壽命也就越短。 冷卻水 由于在劃切中主軸高速旋轉(zhuǎn)，在切割材料時(shí)，刀片與材料的接觸處會(huì)產(chǎn)生很高的溫度，穩(wěn)定的劃切冷卻水流量，不僅在劃切過(guò)程中可以起到冷卻刀片的作用，還可以防止電擊、電弧現(xiàn)象發(fā)生，同時(shí)沖掉劃切過(guò)程中碾碎的碎粒，減少芯片表面的碎屑污染，提高劃切品質(zhì)。 劃切冷卻水，主要采用去離子水，可根據(jù)產(chǎn)品需要增加特殊附件，例如二氧化碳?xì)怏w，以改變水質(zhì)電阻值等。 冷卻水的流量和溫度達(dá)到穩(wěn)定時(shí)，劃切品質(zhì)才能達(dá)能最佳。冷卻水流量的調(diào)節(jié)，包括噴嘴方向、高低、流量大小的調(diào)節(jié)。只有保證了足夠的冷卻效果，才能有效控制劃切崩裂。